凈(jing)化車(che)間(jian)為(wei)要(yao)控制(zhi)溫(wen)濕度(du)的主(zhu)要目(mu)的(de)是什麽

　　在(zai)紊流(liu)潔凈室(shi)中，風的(de)輸(shu)送和混合都(dou)是紊流(liu)方式(shi)進行的。為(wei)確保汙染物(wu)被清(qing)楚，無塵車(che)間(jian)的各個(ge)部(bu)分必(bi)須均實現良(liang)好的(de)空氣混合。在單向(xiang)流(liu)凈化(hua)車(che)間(jian)中，為(wei)保(bao)證關鍵區域(yu)達到(dao)潔凈的(de)水平，其送風直接(jie)來(lai)自過(guo)濾(lv)器(qi)。

　　凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)的溫(wen)濕度(du)主要(yao)是根據(ju)您的(de)加(jia)工工(gong)藝要求來(lai)確定，在(zai)滿(man)足加工(gong)工藝(yi)的(de)條件下(xia)，首(shou)先應(ying)該考慮(lv)人(ren)的舒(shu)適(shi)感。隨(sui)著空氣潔凈度(du)要求的(de)提(ti)高，工(gong)藝(yi)對(dui)溫(wen)濕度(du)的要(yao)求也越來(lai)越高，必(bi)須達到(dao)壹(yi)定(ding)的(de)溫(wen)濕度(du)等級(ji)。例如(ru)在大規模(mo)集成電路生產(chan)的(de)光(guang)刻曝(pu)光(guang)工藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為(wei)掩(yan)膜板材料的玻(bo)璃與(yu)矽(gui)片(pian)的(de)熱膨(peng)脹系(xi)數(shu)的(de)差(cha)要求越(yue)來(lai)越小(xiao)。直徑(jing)100um的矽(gui)片(pian)，溫(wen)度(du)上(shang)升1度(du)，就引起(qi)了0.24um線(xian)性(xing)膨(peng)脹，所以必(bi)須有(you)±0.1度(du)的恒(heng)溫(wen)，同時要求濕度(du)值(zhi)壹般(ban)較(jiao)低(di)，因(yin)為(wei)人(ren)出(chu)汗以後(hou)，對(dui)產(chan)品(pin)將有汙染，特(te)別(bie)是怕鈉的半(ban)導體車(che)間(jian)，這種車(che)間(jian)不宜超過(guo)25度(du)。濕度(du)過(guo)高產(chan)生的(de)問題(ti)更(geng)多(duo)。相對(dui)濕度(du)超過(guo)55%時，冷卻水管(guan)壁(bi)上(shang)會結(jie)露(lu)，如(ru)果發(fa)生在(zai)精(jing)密裝(zhuang)置或電路中(zhong)，就會引起(qi)各種(zhong)事故。相對(dui)濕度(du)在50%時易(yi)生銹(xiu)。