凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)具(ju)體工(gong)藝對(dui)溫(wen)度(du)的(de)要求,由(you)於加(jia)工精度越(yue)來(lai)越(yue)精細(xi),所(suo)以對(dui)溫(wen)度(du)波(bo)動(dong)範圍的要求越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao);要求濕度(du)值(zhi)壹般較(jiao)低(di),因(yin)為(wei)人(ren)出汗(han)以後(hou),對(dui)產品(pin)將有(you)汙(wu)染,特(te)別是(shi)怕鈉的(de)半(ban)導(dao)體車(che)間(jian),這種(zhong)車(che)間(jian)不宜超(chao)過25度(du)。
濕度(du)過高(gao)產生(sheng)的問(wen)題(ti)更多(duo)。相對(dui)濕度(du)超過55%時(shi),冷卻(que)水管壁上會(hui)結露,如果(guo)發(fa)生在精密裝(zhuang)置或(huo)電(dian)路(lu)中(zhong),就會(hui)引(yin)起(qi)各種(zhong)事(shi)故(gu)。相對(dui)濕度(du)在50%時易生(sheng)銹。此外,濕度(du)太(tai)高時(shi)將(jiang)通(tong)過空(kong)氣(qi)中的水(shui)分(fen)子(zi)把矽片(pian)表(biao)面粘著(zhe)的(de)灰(hui)塵化(hua)學(xue)吸附(fu)在表(biao)面耐(nai)難(nan)以清除。相對(dui)濕度(du)越(yue)高(gao),粘附(fu)的(de)難(nan)去(qu)掉,但(dan)當(dang)相對(dui)濕度(du)低(di)於30%時(shi),又(you)由(you)於靜電(dian)力(li)的作(zuo)用(yong)使(shi)粒子(zi)也容易吸附(fu)於表(biao)面,同時大量半(ban)導(dao)體器件(jian)容(rong)易發(fa)生擊(ji)穿。對(dui)於矽(gui)片(pian)生(sheng)產(chan)*溫(wen)度(du)範(fan)圍為35—45%。
換氣(qi)次數(shu)是(shi)通(tong)入(ru)室內的潔凈空(kong)氣(qi)量相當(dang)於房(fang)間(jian)體積的倍數(shu),其單位是(shi)次(ci)/h。如果(guo)壹小時(shi)內通入的空(kong)氣(qi)量和房(fang)間(jian)體積壹樣,換(huan)氣(qi)次數(shu)就是(shi)1次/h,以此類推(tui),換(huan)氣(qi)次數(shu)是(shi)亂(luan)流(liu)潔凈室決(jue)定潔凈度(du)水平的主(zhu)要參數(shu)。
換(huan)氣(qi)次數(shu)越(yue)大,潔凈度(du)級別(bie)越(yue)高(gao)。
換(huan)氣(qi)次數(shu)可(ke)以根據要求的空(kong)氣(qi)潔凈度(du)級別(bie)、室內人數(shu)、房(fang)間(jian)面積、室內其他發(fa)塵量和新(xin)風比(bi)通(tong)過公(gong)式求出來(lai),特(te)別是(shi)動(dong)態(tai)條件下(xia)更需要針對(dui)具(ju)體條(tiao)件(jian)進(jin)行(xing)計算。
凈化(hua)車(che)間(jian)壓差控(kong)制的基(ji)本原(yuan)理是控制送風量、回(hui)風量和排(pai)風量。當(dang)送入(ru)凈化(hua)車(che)間(jian)內的空(kong)氣(qi)量適當(dang)的大於回(hui)風和(he)排(pai)風量時,室內則可維持(chi)壹定的(de)正壓值(zhi)。此時(shi),在室內外靜壓差的(de)作(zuo)用(yong)下(xia),通(tong)過圍護結構不嚴(yan)密處(chu)向外滲(shen)漏的風量與機械(xie)進(jin)出風量的差額(e)相(xiang)等(deng)。
壓(ya)差維(wei)持(chi)的難(nan)題在於機械(xie)送(song)風量與出風量是動(dong)態變(bian)化(hua)的。對(dui)於潔凈空(kong)調(tiao)系統(tong)來(lai)說(shuo),過濾器積塵會(hui)造(zao)成(cheng)新風、送(song)風管(guan)路(lu)阻(zu)力(li)增(zeng)加(jia),從(cong)而(er)影響風量,排風設(she)備的(de)時開時停也(ye)會(hui)導(dao)致(zhi)排風量的變(bian)化(hua);此外,與樓道(dao)、室外相鄰(lin)還會(hui)因(yin)熱(re)壓、風壓(ya)的(de)變(bian)化(hua)影響房(fang)間(jian)的壓(ya)差。因(yin)此(ci)潔凈室的壓差值(zhi)需要經常(chang)進(jin)行(xing)檢查(zha),並依次對(dui)新、送(song)、回(hui)、排(pai)風通(tong)路(lu)的(de)閥門作出(chu)相(xiang)應的(de)調(tiao)整(zheng)。