如(ru)何控(kong)制(zhi)凈化(hua)車(che)間的壓(ya)差(cha)

　　凈化(hua)車(che)間具體工(gong)藝對(dui)溫(wen)度(du)的要(yao)求(qiu)，由(you)於加工(gong)精(jing)度越來(lai)越精細(xi)，所(suo)以(yi)對(dui)溫(wen)度(du)波(bo)動(dong)範(fan)圍(wei)的要(yao)求(qiu)越(yue)來(lai)越小(xiao)；要(yao)求(qiu)濕(shi)度值(zhi)壹般較(jiao)低，因(yin)為人(ren)出汗以後，對(dui)產品(pin)將有汙染(ran)，特別(bie)是(shi)怕鈉(na)的半(ban)導體車間，這種(zhong)車間不宜超(chao)過(guo)25度。

　　濕度(du)過(guo)高產生(sheng)的問題(ti)更多。相對(dui)濕度(du)超過(guo)55%時(shi)，冷(leng)卻(que)水(shui)管(guan)壁上(shang)會(hui)結露，如(ru)果(guo)發(fa)生(sheng)在精(jing)密裝(zhuang)置或電(dian)路(lu)中(zhong)，就(jiu)會(hui)引(yin)起各種事(shi)故。相對(dui)濕度(du)在50%時(shi)易(yi)生(sheng)銹(xiu)。此(ci)外，濕度太(tai)高(gao)時(shi)將通過(guo)空氣中(zhong)的水(shui)分(fen)子把矽片(pian)表面(mian)粘著的灰(hui)塵化(hua)學吸(xi)附(fu)在(zai)表面(mian)耐難(nan)以(yi)清(qing)除(chu)。相對(dui)濕度(du)越高,粘附的難(nan)去掉，但(dan)當相對(dui)濕度(du)低於30%時(shi)，又由於靜電(dian)力(li)的作(zuo)用使(shi)粒(li)子也容易(yi)吸(xi)附(fu)於表面(mian)，同(tong)時(shi)大(da)量半(ban)導體器件(jian)容(rong)易(yi)發(fa)生(sheng)擊穿(chuan)。對(dui)於矽片(pian)生(sheng)產*溫(wen)度(du)範(fan)圍(wei)為(wei)35—45%。

　　凈化(hua)車(che)間壓差(cha)控(kong)制(zhi)的基(ji)本原理(li)是(shi)控(kong)制(zhi)送(song)風(feng)量、回(hui)風量和(he)排風(feng)量。當(dang)送(song)入凈化(hua)車(che)間內的空(kong)氣量適(shi)當(dang)的大(da)於回風(feng)和(he)排風(feng)量時(shi)，室(shi)內(nei)則可維(wei)持(chi)壹定的正(zheng)壓值(zhi)。此(ci)時(shi)，在(zai)室(shi)內外靜壓差(cha)的作(zuo)用下，通過(guo)圍護(hu)結構不嚴密處(chu)向外滲(shen)漏(lou)的風(feng)量與機械(xie)進出風量的差(cha)額(e)相等。

　　凈化(hua)車(che)間壓差(cha)維(wei)持(chi)的難(nan)題(ti)在(zai)於機械(xie)送(song)風(feng)量與出風量是(shi)動(dong)態(tai)變化的。對(dui)於潔凈空(kong)調(tiao)系(xi)統(tong)來(lai)說(shuo)，過(guo)濾器積塵(chen)會造成新(xin)風、送(song)風(feng)管(guan)路(lu)阻(zu)力(li)增(zeng)加，從(cong)而(er)影響(xiang)風(feng)量，排風(feng)設(she)備(bei)的時(shi)開時(shi)停(ting)也會導致(zhi)排風(feng)量的變化；此(ci)外，與樓道(dao)、室(shi)外相鄰(lin)還(hai)會(hui)因(yin)熱壓、風壓(ya)的變化影響(xiang)房(fang)間的壓(ya)差(cha)。因(yin)此(ci)潔凈室(shi)的壓(ya)差(cha)值(zhi)需要經常進(jin)行(xing)檢(jian)查，並依(yi)次(ci)對(dui)新(xin)、送(song)、回(hui)、排風(feng)通(tong)路(lu)的閥(fa)門作(zuo)出相應(ying)的調(tiao)整(zheng)。