凈(jing)化(hua)工(gong)程要控制溫(wen)濕度(du)有哪(na)些(xie)措(cuo)施？

　　凈(jing)化(hua)工(gong)程潔(jie)凈(jing)室(shi)的溫(wen)濕度(du)主要是根據您的(de)加(jia)工(gong)工(gong)藝要求來確(que)定，在滿(man)足加(jia)工(gong)工(gong)藝的條件(jian)下，首(shou)先(xian)應該(gai)考慮(lv)人(ren)的(de)舒(shu)適感。隨(sui)著空氣潔凈度(du)要求的提高(gao)，工(gong)藝對(dui)溫(wen)濕度(du)的要求也越來(lai)越(yue)高(gao)，必(bi)須(xu)達(da)到壹(yi)定的溫(wen)濕度(du)等級(ji)。例(li)如在大規模(mo)集(ji)成(cheng)電路(lu)生產的光(guang)刻(ke)曝光工(gong)藝中(zhong)，作為掩(yan)膜板(ban)材(cai)料(liao)的(de)玻璃與(yu)矽片的熱(re)膨脹(zhang)系(xi)數的(de)差(cha)要求越來越(yue)小(xiao)。直(zhi)徑100um的矽片，溫(wen)度(du)上(shang)升1度(du)，就引(yin)起(qi)了(le)0.24um線(xian)性(xing)膨脹(zhang)，所(suo)以(yi)必(bi)須(xu)有(you)±0.1度(du)的恒溫(wen)，同時(shi)要求濕度(du)值壹(yi)般較(jiao)低(di)，因(yin)為人(ren)出汗以(yi)後，對(dui)產品(pin)將有汙染(ran)，特(te)別是怕鈉的半(ban)導體(ti)車間(jian)，這(zhe)種(zhong)車間(jian)不(bu)宜(yi)超(chao)過25度(du)。

　　濕度(du)過高(gao)產生的(de)問(wen)題更(geng)多(duo)。相對(dui)濕度(du)超(chao)過55%時，凈化(hua)工(gong)程冷(leng)卻水管壁(bi)上(shang)會(hui)結(jie)露，如果發生在(zai)精密(mi)裝(zhuang)置或(huo)電路中(zhong)，就會引(yin)起(qi)各(ge)種(zhong)事故(gu)。相對(dui)濕度(du)在50%時(shi)易(yi)生(sheng)銹。凈化(hua)工(gong)程要控制溫(wen)濕度(du)具(ju)體(ti)有什麽(me)措施？

　　然(ran)而(er)對(dui)於大(da)部分(fen)潔凈(jing)空間(jian)，為了(le)防(fang)止外界(jie)汙(wu)染(ran)侵(qin)入(ru)，需要保持內(nei)部(bu)的壓力（靜壓）高(gao)於(yu)外部(bu)的(de)壓力（靜壓）。壓力差(cha)的(de)維持壹(yi)般應(ying)符(fu)合以(yi)下原則(ze)：

　　1.潔凈度(du)級別高(gao)的(de)空間(jian)的壓力要高(gao)於(yu)相鄰(lin)的(de)潔(jie)凈度(du)級別低(di)的(de)空間(jian)的壓力。

　　2.相通潔(jie)凈(jing)室(shi)之間(jian)的門要開向(xiang)潔(jie)凈(jing)度(du)級別高(gao)的(de)房(fang)間(jian)。

　　3.潔凈空間(jian)的壓力要高(gao)於(yu)非(fei)潔(jie)凈(jing)空間(jian)的壓力。

　　壓力差(cha)的(de)維持依靠(kao)新風(feng)量(liang)，這(zhe)個(ge)新風(feng)量(liang)要能補(bu)償(chang)在(zai)這(zhe)壹(yi)壓力差(cha)下從縫(feng)隙(xi)漏泄(xie)掉的風(feng)量(liang)。所(suo)以(yi)壓力差(cha)的(de)物(wu)理(li)意義就(jiu)是漏泄(xie)（或(huo)滲透(tou)）風(feng)量(liang)通過潔凈室(shi)的各(ge)種(zhong)縫隙(xi)時的(de)阻力。

　　對(dui)於亂(luan)流潔凈室(shi)由於(yu)主要靠空氣的稀釋作用來減(jian)輕室(shi)內(nei)汙(wu)染(ran)的(de)程度(du)，所(suo)以(yi)主要用換氣次(ci)數(shu)這(zhe)壹(yi)概念，而(er)不(bu)直(zhi)接用速(su)度(du)的概念，不(bu)過對(dui)室(shi)內(nei)氣(qi)流速(su)度(du)也有(you)如下要求；1.送風(feng)口(kou)出口氣(qi)流速(su)度(du)不(bu)宜(yi)太大，和單純(chun)空調房(fang)間(jian)相比，要求速(su)度(du)衰減(jian)更快，擴(kuo)散(san)角度(du)更大(da)。2.吹(chui)過水平面的(de)氣(qi)流(liu)速(su)度(du)（例(li)如側(ce)送(song)時回流(liu)速(su)度(du)）不(bu)宜(yi)太大，以免(mian)吹(chui)起(qi)表面微粒重返(fan)氣流(liu)，而(er)造成(cheng)再汙(wu)染(ran)，這(zhe)壹(yi)速(su)度(du)壹(yi)般不(bu)宜(yi)大幹0.2m/s。