如(ru)何控制(zhi)凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)的(de)溫濕(shi)度(du)？

　　具(ju)體(ti)工(gong)藝(yi)對(dui)溫度(du)的要求(qiu)以(yi)後(hou)還(hai)要(yao)列(lie)舉，但作(zuo)為(wei)總的(de)原則看，由(you)於加工(gong)精(jing)度越(yue)來(lai)越(yue)精(jing)細(xi)，所以(yi)對(dui)溫度(du)波動範(fan)圍的(de)要求(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)。例如(ru)在大規(gui)模(mo)集(ji)成電(dian)路生產(chan)的(de)光(guang)刻曝(pu)光(guang)工(gong)藝(yi)中(zhong)，作(zuo)為(wei)掩(yan)膜板材(cai)料的(de)玻(bo)璃(li)與(yu)矽片(pian)的(de)熱膨(peng)脹(zhang)系(xi)數(shu)的(de)差(cha)要(yao)求(qiu)越(yue)來(lai)越(yue)小(xiao)。直(zhi)徑(jing)100um的矽片(pian)，溫(wen)度上(shang)升1度，就(jiu)引起(qi)了(le)0.24um線(xian)性(xing)膨(peng)脹(zhang)，所以(yi)必須(xu)有(you)±0.1度(du)的(de)恒溫，同(tong)時要(yao)求(qiu)濕(shi)度(du)值(zhi)壹(yi)般(ban)較低，因為(wei)人出汗(han)以(yi)後，對(dui)產(chan)品(pin)將(jiang)有(you)汙染，特(te)別(bie)是怕鈉(na)的半(ban)導(dao)體(ti)車(che)間(jian)，這(zhe)種車間(jian)不(bu)宜(yi)超(chao)過(guo)25度。

　　空(kong)氣(qi)潔(jie)凈(jing)度等級(ji)標準(zhun)及規(gui)範

　　經(jing)濟(ji)和(he)科技(ji)發達(da)的(de)國家(jia)和(he)地(di)區都(dou)有(you)自(zi)己的空氣(qi)潔(jie)凈(jing)標準(zhun)和(he)規(gui)範(fan)標準(zhun)，都規(gui)定了(le)有(you)關(guan)的潔(jie)凈(jing)度等級(ji)，例如(ru)美國(guo)、日(ri)本(ben)、西(xi)歐、北歐(ou)、俄(e)羅斯(si)等。我(wo)國(guo)於1984年頒布(bu)《潔凈(jing)廠房設(she)計(ji)規(gui)範》（GBJ73-84），1996年該(gai)規範進行了(le)較大的(de)修(xiu)改(gai)，1990年頒(ban)布《潔凈(jing)室施(shi)工(gong)及(ji)驗收(shou)規(gui)範(fan)》（JGJ71-90）以(yi)指(zhi)導(dao)施(shi)工(gong)和(he)驗(yan)收(shou)的(de)重要(yao)文(wen)件(jian)。目(mu)前，該(gai)規(gui)範在重新(xin)修(xiu)訂(ding)中(zhong)。

　　大部(bu)分凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)尤其(qi)電(dian)子工(gong)業(ye)用(yong)的(de)潔(jie)凈(jing)廠房都(dou)有(you)嚴(yan)格(ge)的恒溫、恒濕(shi)的(de)要(yao)求(qiu)，不(bu)僅(jin)對(dui)廠房(fang)內的溫、濕(shi)度(du)有(you)嚴(yan)格(ge)的要(yao)求(qiu)，而(er)且(qie)對(dui)溫度(du)和(he)相(xiang)對(dui)濕(shi)度(du)的(de)波(bo)動範(fan)圍也(ye)有(you)嚴(yan)格(ge)的要(yao)求(qiu)。因(yin)此(ci)，在凈(jing)化(hua)空(kong)調(tiao)系(xi)統的空氣(qi)處(chu)理(li)上(shang)要采取相(xiang)應(ying)的(de)措(cuo)施(shi)，例(li)如(ru)：夏季(ji)要降(jiang)溫、去(qu)濕(shi)（因(yin)為(wei)夏(xia)季(ji)室外(wai)空(kong)氣(qi)是(shi)高溫、高濕(shi)的(de)），冬(dong)季(ji)要加(jia)熱加(jia)濕(shi)（因(yin)為(wei)冬(dong)季(ji)室外(wai)空(kong)氣(qi)是(shi)寒冷(leng)幹燥(zao)的，室(shi)內濕(shi)度(du)過(guo)低會產(chan)生(sheng)靜(jing)電，靜電(dian)對(dui)電子產(chan)品(pin)的生(sheng)產(chan)是(shi)致(zhi)命(ming)的）。