潔凈(jing)無塵(chen)室內該如何(he)防(fang)止微粒子汙染(ran)呢？

　　1.不(bu)攜(xie)入(ru)在無塵(chen)室內不(bu)攜(xie)入(ru)微粒子的(de)方法有：

　　1）作業員進入無塵(chen)室前，機(ji)臺、零件攜(xie)入(ru)前應(ying)進(jin)行(xing)清(qing)潔處(chu)理；

　　2）進(jin)入無塵(chen)室者(zhe)在更衣(yi)室要(yao)穿著(zhe)不(bu)發(fa)塵(chen)、不(bu)產(chan)生靜(jing)電的(de)具(ju)特殊(shu)導(dao)電(dian)性纖(xian)維(wei)材質的(de)無(wu)塵(chen)服(fu)、帽(mao)、鞋、手(shou)套(tao)、口罩(zhao)等。

　　3）通(tong)過(guo)風淋室時(shi)利(li)用高(gao)速(su)幹凈空(kong)氣(qi)除去(qu)附(fu)在衣(yi)服(fu)表面(mian)的(de)粒子後，才能(neng)進入(ru)無(wu)塵(chen)室。

　　4）機(ji)器(qi)及材料(liao)帶(dai)進無(wu)塵(chen)室前，應(ying)盡(jin)可(ke)能在(zai)密(mi)封(feng)狀態下(xia)帶(dai)進無(wu)塵(chen)室前室保養(yang)後(hou)用(yong)超(chao)純(chun)水(shui)擦拭(shi)，經風淋室吹淋後(hou)才(cai)進入(ru)無塵(chen)室。

　　5）無塵(chen)室中(zhong)須全(quan)程穿戴(dai)密(mi)閉(bi)式(shi)安(an)全(quan)帽(mao)及佩戴(dai)附(fu)有filter的(de)排(pai)氣(qi)用小(xiao)型(xing)fan於(yu)腰間。

　　2.不(bu)發(fa)生在控(kong)制大汙染(ran)源(yuan)--人(ren)在無(wu)塵(chen)室內的(de)微粒子發(fa)塵(chen)量(liang)的(de)同時(shi)，也(ye)應(ying)控(kong)制第(di)二大(da)汙染(ran)源(yuan)—制造機(ji)臺的(de)發(fa)塵(chen)量(liang)。因(yin)物品在移動時(shi)，所(suo)產生的(de)摩(mo)擦及接(jie)觸剝離(li)會造成(cheng)發(fa)塵(chen)，而(er)物品在移動時(shi)也(ye)會有微粒子的(de)發(fa)生。故為(wei)了控(kong)制發(fa)塵(chen)量(liang)達(da)到(dao)小(xiao)限度(du)應(ying)采(cai)取(qu)以下(xia)對策(ce)：

　　1）減少(shao)接(jie)觸剝離(li)發(fa)塵(chen)的(de)動作形態；

　　2）采(cai)用(yong)磨耗發(fa)塵(chen)小(xiao)的(de)材質；

　　3）采用(yong)發(fa)塵(chen)小(xiao)的(de)潤(run)滑(hua)油(you)；

　　4）機(ji)臺應(ying)用(yong)空(kong)壓(ya)浮上的(de)非(fei)接(jie)觸化工(gong)作原(yuan)理。

　　3.不(bu)儲(chu)備(bei)若(ruo)能(neng)*實(shi)施(shi)“不(bu)攜(xie)入(ru)”技(ji)術(shu)，無塵(chen)室內的(de)潔凈(jing)度就(jiu)可(ke)以維持(chi)。但現實中(zhong)人(ren)和物品的(de)頻(pin)繁(fan)出入(ru)及制造機(ji)臺的(de)掣動，在廣大的(de)無(wu)塵(chen)室內要(yao)有*潔凈(jing)度是(shi)不(bu)可(ke)能的(de)。因(yin)此(ci)“不(bu)儲(chu)備(bei)”技(ji)術(shu)快速(su)地(di)在(zai)過(guo)濾(lv)器中(zhong)應(ying)用(yong)以除去(qu)已(yi)發(fa)生的(de)微粒子變得非(fei)常(chang)重(zhong)要(yao)。通常(chang)已(yi)發(fa)生的(de)微粒子會依(yi)據(ju)重力(li)及靜(jing)電吸附(fu)力(li)而停(ting)留在周(zhou)邊的(de)物體表面(mian)。突發(fa)性(xing)的(de)振(zhen)動及不(bu)穩(wen)定(ding)的(de)氣(qi)流會使(shi)這(zhe)些累積(ji)微粒在空(kong)氣(qi)中(zhong)再度揚起，增加了重(zhong)大(da)微粒子汙染(ran)的(de)危險性。無(wu)塵(chen)室內的(de)浮遊微粒子濃度，使(shi)用高(gao)性(xing)能(neng)的(de)過(guo)濾(lv)器即(ji)可(ke)容(rong)易達(da)到(dao)零(ling)水(shui)平，實(shi)際的(de)生產現場由於(yu)作業者(zhe)、機(ji)器(qi)、周(zhou)邊機(ji)械(xie)的(de)發(fa)塵(chen)及基板運送(song)時(shi)所(suo)接觸的(de)零(ling)件材料(liao)的(de)發(fa)塵(chen)等(deng)，在(zai)制造品周(zhou)邊揚(yang)起(qi)了少(shao)許(xu)的(de)微粒子，因(yin)而造成(cheng)了元(yuan)件清潔面(mian)的(de)粒子汙染(ran)。在(zai)高等級(ji)的(de)無(wu)塵(chen)室中(zhong)從(cong)天(tian)花板到地(di)面(mian)，*除(chu)去(qu)微粒子的(de)空(kong)氣(qi)須在(zai)0.3-0.4m/s的(de)速(su)度(du)作(zuo)垂直(zhi)向(xiang)下(xia)流動。這(zhe)是在約10秒(miao)內(nei)將室內空(kong)氣(qi)和*過(guo)濾(lv)空(kong)氣(qi)*交換(huan)所(suo)計算(suan)出來(lai)的(de)數(shu)值(zhi)。同時(shi)，空(kong)氣(qi)的(de)流向(xiang)也(ye)必(bi)須要(yao)有準確的(de)控(kong)制才行(xing)。特(te)別要(yao)保證氣(qi)流的(de)流通路(lu)徑暢(chang)通(tong)無(wu)阻(zu)，因(yin)為(wei)在(zai)流通路(lu)徑中(zhong)有障礙物的(de)話(hua)，容(rong)易產(chan)生空(kong)氣(qi)空(kong)氣(qi)渦流而形(xing)成空(kong)氣(qi)的(de)滯(zhi)留區域，使(shi)得附(fu)近(jin)已(yi)發(fa)生的(de)微粒子無法快(kuai)速排(pai)除(chu)而(er)長(chang)時(shi)間漂流在無(wu)塵(chen)室內，而壹部分(fen)會(hui)附(fu)著在(zai)周(zhou)邊機(ji)器(qi)設備(bei)的(de)表(biao)面(mian)而(er)引(yin)起(qi)汙染(ran)。控(kong)制氣(qi)流可(ke)防止微粒子累積(ji)，但對於(yu)帶(dai)電表(biao)面(mian)的(de)微粒累積(ji)就無(wu)法防止。無(wu)塵(chen)室內的(de)浮遊微粒子濃度，使(shi)用高(gao)性(xing)能(neng)的(de)過(guo)濾(lv)器即(ji)可(ke)容(rong)易達(da)到(dao)零(ling)水(shui)平，實(shi)際的(de)生產現場由於(yu)作業者(zhe)、機(ji)器(qi)、周(zhou)邊機(ji)械(xie)的(de)發(fa)塵(chen)及基板運送(song)時(shi)所(suo)接觸的(de)零(ling)件材料(liao)的(de)發(fa)塵(chen)等(deng)，在(zai)制造品周(zhou)邊揚(yang)起(qi)了少(shao)許(xu)的(de)微粒子，因(yin)而造成(cheng)了元(yuan)件清潔面(mian)的(de)粒子汙染(ran)。

　　4.潔要(yao)求

　　（1）清潔潔凈(jing)室內的(de)墻(qiang)時(shi)應(ying)使(shi)用(yong)潔凈(jing)室無塵(chen)布(bu)；

　　（2）用(yong)90％去(qu)離(li)子(zi)水(shui)和10％的(de)異(yi)丙(bing)醇(chun)配(pei)置清(qing)潔劑；

　　（3）使(shi)用(yong)已(yi)獲(huo)批(pi)準的(de)潔凈(jing)室去(qu)汙劑；

　　（4）每(mei)天都要(yao)檢查(zha)車(che)間(jian)和整備(bei)間的(de)垃(la)圾(ji)箱(xiang)，並(bing)及時(shi)清走。

　　（5）每(mei)塊(kuai)地(di)板都要(yao)吸塵(chen)。每(mei)次(ci)交接(jie)班時(shi)，都應(ying)在(zai)地(di)圖(tu)上(shang)標(biao)明工作(zuo)完(wan)成情(qing)況，例如在哪結(jie)束(shu)從(cong)哪(na)開始(shi)。

　　（6）清(qing)潔潔凈(jing)室的(de)地(di)面(mian)應(ying)使(shi)用(yong)拖(tuo)把。

　　（7）在潔凈(jing)室裏(li)吸塵(chen)應(ying)使(shi)用(yong)帶(dai)有高效過(guo)濾(lv)器的(de)真(zhen)空(kong)吸塵(chen)器(qi)。

　　（8）所(suo)有的(de)門(men)都需(xu)要(yao)檢查(zha)並(bing)擦幹