凈化工(gong)程(cheng)講解(jie)

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        凈化工(gong)程(cheng)所特(te)別設(she)計(ji)的(de)房間(jian)，不論(lun)外在空氣條(tiao)件(jian)如何變(bian)化，室(shi)內(nei)均具有維持(chi)原先(xian)所設(she)定(ding)要(yao)求(qiu)之潔凈度(du)、溫(wen)濕度(du)及(ji)壓力(li)等性能(neng)。

在壹(yi)定(ding)空(kong)間(jian)範(fan)圍內(nei)，將空氣中的(de)微(wei)粒(li)子、有害空氣(qi)、細(xi)菌(jun)等(deng)汙染(ran)物排(pai)除(chu)，並將室內(nei)溫(wen)度(du)、潔凈度(du)、壓力(li)、氣流(liu)速度(du)與(yu)氣(qi)流分布(bu)、噪(zao)音振(zhen)動及(ji)照明、靜(jing)電控制在某(mou)壹需(xu)求(qiu)範(fan)圍內(nei)的工程學(xue)科。

凈化方(fang)式：

亂(luan)流式(shi)
　　空(kong)氣(qi)由空調箱經(jing)風管(guan)與(yu)潔(jie)凈室內(nei)之空氣(qi)過(guo)濾器(qi)（HEPA） 進(jin)入(ru)潔凈室，並(bing)由(you)潔凈室兩(liang)側(ce)隔(ge)間(jian)墻(qiang)板或(huo)高(gao)架地板回風。氣(qi)流(liu)非(fei)直線(xian)型運動而(er)呈(cheng)不規則(ze)之亂(luan)流或(huo)渦(wo)流(liu)狀態(tai)。此型式適用於(yu)潔凈室等(deng)級1,000-100,000級。 　　
優點(dian)：構(gou)造(zao)簡單(dan)、系統建(jian)造(zao)成(cheng)本低，潔(jie)凈室的(de)擴(kuo)充(chong)比較容易(yi)，在某(mou)些(xie)特(te)殊用途(tu)場(chang)所，可(ke)並用無(wu)塵工作臺，提高(gao)潔(jie)凈室等(deng)級。 　　
缺點(dian)：亂(luan)流造(zao)成(cheng)的(de)微塵粒(li)子於(yu)室內(nei)空間(jian)飄(piao)浮(fu)不易(yi)排(pai)出，易(yi)汙(wu)染(ran)制程產品(pin)。另外若系統停止運轉(zhuan)再(zai)激(ji)活，欲達(da)需求(qiu)之潔凈度(du)，往(wang)往(wang)須耗(hao)時(shi)相(xiang)當長壹(yi)段(duan)時(shi)間(jian)。

層流(liu)式(shi)
　　層流(liu)式(shi)空(kong)氣(qi)氣流(liu)運(yun)動成(cheng)壹(yi)均勻(yun)之直線(xian)型，空氣(qi)由覆蓋率100%之過濾器(qi)進(jin)入(ru)室內(nei)，並由高架地板或(huo)兩(liang)側(ce)隔(ge)墻(qiang)板回風。此(ci)型式適用於(yu)潔凈室等(deng)級需(xu)定(ding)較(jiao)高(gao)的環(huan)境(jing)使(shi)用，壹(yi)般(ban)其(qi)潔(jie)凈室等(deng)級為Class 1~100。其型式可(ke)分為二種(zhong)： 　　
（1）水平(ping)層流(liu)式(shi)：水(shui)平(ping)式空(kong)氣(qi)自(zi)過濾器(qi)單(dan)方(fang)向吹出，由(you)對(dui)邊(bian)墻(qiang)壁之回風系統回風，塵(chen)埃(ai)隨(sui)風向(xiang)排(pai)出室(shi)外，壹般(ban)在(zai)下(xia)流(liu)側(ce)汙(wu)染(ran)較嚴重(zhong)。 　　
優點(dian)：構(gou)造(zao)簡單(dan)，運轉(zhuan)後短時(shi)間(jian)內(nei)即(ji)可變成穩(wen)定(ding)。 　　
缺點(dian)：建(jian)造(zao)費(fei)用比亂(luan)流式(shi)高(gao)，室(shi)內(nei)空間(jian)不易(yi)擴(kuo)充(chong)。 　　
（2）垂直層流(liu)式(shi)：房間(jian)天花(hua)板*以ULPA過(guo)濾器(qi)覆(fu)蓋，空(kong)氣(qi)由上(shang)往(wang)下吹，可得較高之潔凈度(du)，在制程中或(huo)工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)所產生的(de)塵(chen)埃(ai)可快速排(pai)出室(shi)外而不會(hui)影響(xiang)其它(ta)工(gong)作區域(yu)。 　　
優點(dian)：管理(li)容易(yi)，運轉(zhuan)開始(shi)短(duan)時(shi)間(jian)內(nei)即(ji)可達穩(wen)定(ding)狀(zhuang)態(tai)，不易(yi)為作業狀(zhuang)態(tai)或(huo)作(zuo)業人(ren)員(yuan)所影(ying)響(xiang)。 
缺點(dian)：構(gou)造(zao)費(fei)用較(jiao)高，彈性運(yun)用空(kong)間(jian)困(kun)難，天花(hua)板之吊架相(xiang)當占(zhan)空間(jian)，維(wei)修(xiu)更換過濾器(qi)較(jiao)麻煩。

復(fu)合式(shi)：
　　復合(he)式(shi)為將亂(luan)流式(shi)及(ji)層流(liu)式(shi)予(yu)以復(fu)合(he)或(huo)並(bing)用，可(ke)提供局部超潔(jie)凈之空氣(qi)。 　　
（1）潔(jie)凈隧(sui)道(dao)：以HEPA或(huo)ULPA過(guo)濾器(qi)將制程區域(yu)或(huo)工(gong)作(zuo)區域(yu)100%覆(fu)蓋使(shi)潔(jie)凈度(du)等級提高(gao)至(zhi)10級以上(shang)，可節省安裝運轉費(fei)用。此(ci)型式需(xu)將作業人(ren)員(yuan)之工作(zuo)區與(yu)產品(pin)和機(ji)器(qi)維(wei)修(xiu)予(yu)以隔(ge)離(li)，以避(bi)免機(ji)器(qi)維(wei)修(xiu)時(shi)影(ying)響(xiang)工作(zuo)及(ji)品(pin)質(zhi)。ULSI制程大(da)都(dou)采(cai)用此(ci)種(zhong)型式。 　

 　潔(jie)凈隧(sui)道(dao)另有二項(xiang)優點(dian)：
A.彈性擴(kuo)充(chong)容易(yi)；
B.維修(xiu)設(she)備(bei)時(shi)可(ke)在(zai)維(wei)修(xiu)區輕(qing)易執(zhi)行(xing)。 　　

（2）潔(jie)凈管道(dao)：將產品(pin)流程(cheng)經(jing)過(guo)的自(zi)動生產線(xian)包圍並(bing)凈化處理，將潔凈度(du)等級提至(zhi)100級以上(shang)。因產品(pin)和作(zuo)業員(yuan)及(ji)發塵(chen)環(huan)境(jing)相互隔(ge)離(li)，少(shao)量(liang)之送(song)風即(ji)可得到(dao)良好(hao)之潔凈度(du)，可節(jie)省能(neng)源，不需(xu)人(ren)工的自(zi)動化(hua)生產線(xian)為zui適宜使(shi)用。藥(yao)品(pin)、食(shi)品(pin)業界(jie)及(ji)半(ban)導體(ti)業界(jie)均(jun)適用。 　　

（3）並(bing)裝局部潔凈室：將潔凈室等(deng)級10,000~100,000之亂(luan)流潔(jie)凈室內(nei)之產品(pin)制程區的(de)潔(jie)凈度(du)等級提高(gao)為10~1000級以上(shang)，以為生產之用；潔(jie)凈工作(zuo)臺、潔凈工作(zuo)棚(peng)、潔凈風櫃即(ji)屬此(ci)類。

局部潔凈工程(cheng)
　　潔(jie)凈工作(zuo)臺：等級Class 1~100級。
　　潔(jie)凈工作(zuo)棚(peng)：為在亂(luan)流式(shi)之潔凈室空(kong)間(jian)內(nei)以防(fang)靜(jing)電之透明塑料(liao)布圍成(cheng)壹(yi)小(xiao)空間(jian)，采(cai)用獨立之HEPA或(huo)ULPA及(ji)空調送(song)風機(ji)組(zu)而成為壹較(jiao)之潔凈空間(jian)，其(qi)等(deng)級為10~1000級，高(gao)度(du)在2.5米(mi)左右(you)，覆蓋面積約(yue)10m2以下(xia)，四支支柱(zhu)並(bing)加裝(zhuang)活動輪(lun)，可(ke)為彈性運(yun)用。



 

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