無(wu)塵(chen)凈化(hua)車(che)間(jian)內該(gai)如(ru)何防止微(wei)粒子汙染(ran)呢(ne)？

　　壹(yi)、不(bu)攜入(ru)

　　在潔凈(jing)車(che)間(jian)內不攜入(ru)微(wei)粒子的方法(fa)有(you)：

　　1）作業(ye)員進入(ru)潔凈(jing)車(che)間(jian)前(qian)，機臺、零(ling)件攜入(ru)前(qian)應(ying)進行清潔處(chu)理；

　　2）進入(ru)潔凈(jing)車(che)間(jian)者在更(geng)衣(yi)室(shi)要(yao)穿著不發(fa)塵(chen)、不產(chan)生(sheng)靜電(dian)的具(ju)特(te)殊(shu)導電(dian)性(xing)纖(xian)維材(cai)質(zhi)的無(wu)塵(chen)服(fu)、帽(mao)、鞋(xie)、手(shou)套、口(kou)罩(zhao)等。

　　3）通過風(feng)淋室時利用(yong)高速(su)幹凈空氣(qi)除(chu)去(qu)附在衣(yi)服(fu)表(biao)面(mian)的粒子後，才能進入(ru)潔凈(jing)車(che)間(jian)。

　　4）機器及材(cai)料帶進潔凈(jing)車(che)間(jian)前(qian)，應(ying)盡可能在密封狀(zhuang)態(tai)下(xia)帶進潔凈(jing)車(che)間(jian)前(qian)室保(bao)養(yang)後用(yong)超純(chun)水擦(ca)拭，經風淋室吹(chui)淋(lin)後才進入(ru)潔凈(jing)車(che)間(jian)。

　　5）潔凈(jing)車(che)間(jian)中(zhong)須全程穿戴密(mi)閉式安全帽(mao)及(ji)佩(pei)戴(dai)附有(you)filter的排氣(qi)用(yong)小型(xing)fan於(yu)腰間(jian)。

　　二(er)、不制造

　　在控制zui大(da)汙(wu)染(ran)源(yuan)--人在無(wu)塵(chen)凈化(hua)車(che)間(jian)內的微(wei)粒子發塵(chen)量(liang)的同時，也(ye)應(ying)控制第(di)二(er)大(da)汙(wu)染(ran)源(yuan)—制造機臺的發塵(chen)量(liang)。因(yin)物(wu)品在移(yi)動(dong)時，所產生的摩擦及接觸(chu)剝離會造(zao)成(cheng)發塵(chen)，而(er)物(wu)品在移(yi)動(dong)時也(ye)會(hui)有微(wei)粒子的發生。故為(wei)了(le)控制發塵(chen)量(liang)達(da)到zui小限(xian)度(du)應(ying)采取(qu)以(yi)下(xia)對策：

　　1）減少(shao)接觸(chu)剝離發塵(chen)的動(dong)作形態(tai)；

　　2）采用(yong)磨耗發(fa)塵(chen)小的材質(zhi)；

　　3）采(cai)用(yong)發塵(chen)小的潤(run)滑油(you)；

　　4）機臺應(ying)用(yong)空壓(ya)浮(fu)上的非接觸(chu)化(hua)工(gong)作原理。

　　三、不儲備

　　若(ruo)能*實(shi)施(shi)“不攜入(ru)”技術，潔凈(jing)室(shi)內的潔凈(jing)度(du)就可以(yi)維持(chi)。但現(xian)實(shi)中(zhong)人和(he)物(wu)品的頻繁(fan)出入(ru)及制造機臺的掣(che)動(dong)，在廣(guang)大(da)的潔凈(jing)車(che)間(jian)內要有(you)*潔凈(jing)度(du)是不可能的。因此(ci)“不儲備”技術快(kuai)速(su)地(di)在過濾(lv)器中(zhong)應(ying)用(yong)以(yi)除(chu)去(qu)已(yi)發生的微(wei)粒子變得(de)非常重(zhong)要。通(tong)常已(yi)發生的微(wei)粒子會依(yi)據(ju)重(zhong)力(li)及(ji)靜(jing)電吸(xi)附力(li)而(er)停(ting)留(liu)在周邊(bian)的物體(ti)表面(mian)。突(tu)發性(xing)的振動(dong)及不(bu)穩(wen)定的氣(qi)流會使(shi)這些累積微(wei)粒在空氣(qi)中(zhong)再度揚(yang)起，增(zeng)加(jia)了(le)重(zhong)大(da)微(wei)粒子汙染(ran)的危險性。

　　在zui高等級(ji)的潔凈(jing)車(che)間(jian)中(zhong)從天花板(ban)到地(di)面，*除(chu)去(qu)微(wei)粒子的空氣(qi)須在0.3-0.4m/s的速(su)度(du)作(zuo)垂直向(xiang)下(xia)流動(dong)。這是在約(yue)10秒內將室(shi)內空氣(qi)和*過濾(lv)空(kong)氣(qi)*交換(huan)所計算出來(lai)的數值(zhi)。同時，空(kong)氣(qi)的流向也(ye)必(bi)須要有的控制才行。特(te)別(bie)要保(bao)證(zheng)氣(qi)流的流通路(lu)徑(jing)暢通無(wu)阻，因(yin)為(wei)在流通路(lu)徑(jing)中(zhong)有障(zhang)礙(ai)物(wu)的話，容易產生(sheng)空氣(qi)空氣(qi)渦流而(er)形成(cheng)空氣(qi)的滯(zhi)留區域，使(shi)得(de)附近(jin)已(yi)發生的微(wei)粒子無(wu)法(fa)快(kuai)速(su)排除(chu)而(er)長(chang)時間(jian)漂流在潔凈(jing)車(che)間(jian)內，而(er)壹(yi)部(bu)分(fen)會(hui)附著在周邊(bian)機器設備(bei)的表面而(er)引(yin)起汙染(ran)。

　　控制氣(qi)流可防(fang)止微(wei)粒子累積，但對於(yu)帶電(dian)表(biao)面(mian)的微(wei)粒累積就無(wu)法(fa)防(fang)止。

　　潔凈(jing)車(che)間(jian)內的浮(fu)遊(you)微(wei)粒子濃(nong)度(du)，使(shi)用(yong)高性(xing)能的過濾(lv)器即可(ke)容易達到零(ling)水(shui)平(ping)，實(shi)際(ji)的生產現(xian)場(chang)由(you)於(yu)作(zuo)業(ye)者、機器、周邊(bian)機械的發塵(chen)及基(ji)板運(yun)送時所接觸(chu)的零(ling)件材(cai)料的發塵(chen)等，在制造品周邊(bian)揚(yang)起了(le)少(shao)許(xu)的微(wei)粒子，因而(er)造(zao)成(cheng)了(le)元件清潔面(mian)的粒子汙染(ran)。

　　四(si)、排除(chu)/除(chu)去(qu)

　　在無(wu)法(fa)避(bi)免大(da)量(liang)微(wei)粒子發生的機臺中(zhong)，為(wei)了(le)不讓(rang)潔凈(jing)車(che)間(jian)內產生(sheng)微(wei)粒子，因此(ci)直接做(zuo)對外(wai)排氣(qi)的動(dong)作，即(ji)所謂的局(ju)部排氣(qi)。針對排氣(qi)的對策如下(xia)：由(you)於(yu)導入(ru)同量(liang)的外(wai)氣(qi)是必(bi)要(yao)的，但會伴(ban)隨大(da)量(liang)的能源消耗。所以(yi)無(wu)法(fa)說是理想(xiang)的對策。因此(ci)盡可能地(di)在壓縮排氣(qi)量(liang)的同時，不(bu)僅(jin)僅是(shi)向潔凈(jing)室(shi)外(wai)排氣(qi)，而(er)應(ying)采用(yong)將除(chu)去(qu)粒子後的空氣(qi)再回流到潔凈(jing)車(che)間(jian)內之(zhi)對策。