如(ru)何(he)解決凈(jing)化車(che)間的(de)靜電問題(ti)？

　　靜電是凈(jing)化車(che)間難控(kong)制(zhi)的因(yin)素之壹(yi)，靜電可以使(shi)半(ban)導(dao)體器(qi)件生(sheng)產(chan)中(zhong)的廢(fei)品(pin)增(zeng)多(duo)、降低電子(zi)設備(bei)的可靠(kao)性。因此(ci)，在(zai)半導(dao)體器(qi)件的(de)生(sheng)產(chan)中(zhong)，所有(you)的制(zhi)造(zao)階段都(dou)需(xu)要防(fang)止靜電對器(qi)件的(de)作(zuo)用(yong)。

　　消(xiao)除靜電的方法很(hen)多(duo)，對(dui)有(you)防靜(jing)電環境(jing)要求(qiu)的凈(jing)化車(che)間工(gong)程(cheng)，常用以下(xia)幾(ji)種方法：

　　1、選用合(he)適(shi)的(de)材(cai)料：

　　凈(jing)化車(che)間裝(zhuang)修要采(cai)用不(bu)易(yi)產(chan)生(sheng)靜電或產(chan)生(sheng)靜電後(hou)能(neng)較快泄漏的材(cai)料，多(duo)種材(cai)料共(gong)同使(shi)用(yong)時(shi)，應(ying)選(xuan)用(yong)在電序列表中位置(zhi)接近(jin)的(de)材(cai)料。所有(you)的材(cai)料可歸(gui)入(ru)電的導(dao)體或電的絕(jue)緣(yuan)體。導(dao)體是電流能(neng)通過(guo)的材(cai)料，絕(jue)緣(yuan)體是電流不(bu)能(neng)通過(guo)的材(cai)料。

　　2、接地(di)：

　　接(jie)地是(shi)帶電導(dao)體消除靜電zui為普遍、經濟、簡便、可靠(kao)的方法。

　　(1)凈(jing)化車(che)間內(nei)可能(neng)產(chan)生(sheng)靜電危害(hai)的(de)設備(bei)、流動液(ye)體、氣體或粉(fen)體管道(dao)應(ying)采(cai)取(qu)防(fang)靜(jing)電接地措施。

　　(2)電子(zi)工業潔凈(jing)室(shi)的圍護結構(gou)(吊頂(ding)、地面(mian)、墻、柱)應(ying)采(cai)用(yong)防靜(jing)電裝(zhuang)飾(shi)，可以抑(yi)制(zhi)塵(chen)埃(ai)的(de)帶電吸(xi)附(fu)。

　　(3)工(gong)藝設備(bei)接地。

　　(4)辦(ban)公(gong)設(she)備(bei)應(ying)采(cai)用(yong)能(neng)防靜電的材(cai)料制成並(bing)接地。

　　(5)工(gong)作(zuo)人(ren)員(yuan)應(ying)穿(chuan)戴(dai)防靜(jing)電的無塵(chen)衣(yi)、鞋(xie)、帽、手(shou)套(tao)、腕帶等(deng)。

　　3、.中(zhong)和(he)：

　　將(jiang)帶電體(靜電)周圍(wei)的空氣離(li)子(zi)化後(hou)，帶電的離(li)子(zi)在電磁(ci)場(chang)作(zuo)用(yong)下(xia)發(fa)生(sheng)遷(qian)移(yi)，帶電體吸(xi)引異性電荷達到中和(he)而(er)消(xiao)除靜電。靜電消除器(qi)是(shi)壹種能(neng)產(chan)生(sheng)電子(zi)和(he)離(li)子(zi)的裝(zhuang)置(zhi)，它(ta)產(chan)生(sheng)的電子(zi)、離(li)子(zi)與帶電體上(shang)的異(yi)性電荷中和(he)，從而(er)消(xiao)除靜電。絕(jue)緣(yuan)材(cai)料表面(mian)所(suo)帶的靜電荷、空氣中(zhong)的靜電荷必須用靜(jing)電中和(he)的(de)辦(ban)法來消除。

　　4、濕度(du)控制(zhi)：

　　在眾多(duo)消(xiao)除靜電的方法中，室(shi)內濕度(du)控制(zhi)也(ye)被認(ren)為可以用(yong)來(lai)減(jian)少和(he)消(xiao)除凈(jing)化車(che)間靜(jing)電。通過(guo)在環(huan)境(jing)中(zhong)保(bao)持(chi)高的(de)相對濕度(du)，在該(gai)區域(yu)內物體的表(biao)面將(jiang)形成薄薄的(de)濕氣層，利用(yong)這壹(yi)薄層來提(ti)供(gong)導(dao)電的通道(dao)，使(shi)得可能(neng)產(chan)生(sheng)的電荷流過(guo)該(gai)濕氣層耗散(san)靜(jing)電荷。另(ling)外(wai)，薄薄的(de)濕氣層可以增(zeng)加(jia)物體表面(mian)的潤(run)滑(hua)性，摩擦生(sheng)電也(ye)將減(jian)少。壹般來說(shuo)，濕(shi)度(du)越低，產(chan)生(sheng)的電荷越多(duo)。但(dan)是(shi)資(zi)料表明，甚(shen)至(zhi)在(zai)濕(shi)度(du)高時(shi)也(ye)會(hui)產(chan)生(sheng)顯著(zhu)的靜(jing)電電壓，但(dan)是(shi)，在(zai)高濕(shi)度(du)環境(jing)中(zhong)，生(sheng)產(chan)人(ren)員可(ke)能(neng)會(hui)感覺十分(fen)不(bu)舒(shu)服，零(ling)部件可(ke)能(neng)生(sheng)銹，並(bing)產(chan)生(sheng)可焊(han)性問題(ti)。同時，企(qi)圖(tu)用濕(shi)度(du)控制(zhi)來消除靜電的方法顯然是(shi)高耗(hao)費(fei)的(de)，尤其在幹(gan)燥(zao)地區更(geng)是如此。