凈化(hua)車(che)間(jian),也(ye)可以(yi)稱為(wei)凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)或(huo)清(qing)凈室(shi)。它(ta)是(shi)汙(wu)染(ran)控制的(de)基(ji)礎(chu)。沒有凈(jing)化(hua)車(che)間(jian),汙(wu)染(ran)敏感零件不(bu)可能批量(liang)生產(chan)。那(na)麽(me)凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)是(shi)由哪(na)幾部(bu)分組呢(ne)?
凈化(hua)車(che)間(jian)共(gong)有五(wu)部(bu)分組成:
1、隔(ge)間(jian)
凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)隔(ge)間(jian)分(fen)為(wei)三(san)大部(bu)分,更衣室,千(qian)級(ji)區和百級區(qu),更衣室與千級(ji)區,千(qian)級(ji)區(qu)和百級區(qu)均(jun)設風(feng)淋室(shi)(airshower),凈化(hua)車(che)間(jian)與室外(wai)設有(you)物(wu)品(pin)出入(ru)通(tong)道傳(chuan)遞(di)箱(passbox).當(dang)人員進(jin)入(ru)凈化(hua)車(che)間(jian)時,首先(xian)要(yao)經(jing)過(guo)風(feng)淋室(shi),對(dui)人體(ti)所帶(dai)的(de)灰(hui)塵(chen)吹(chui)淋,減少人員帶入(ru)凈化(hua)車(che)間(jian)的(de)灰(hui)塵(chen).傳(chuan)遞(di)箱則是(shi)對(dui)物(wu)品(pin)灰(hui)塵(chen)進(jin)行(xing)吹(chui)淋,達到(dao)落塵(chen)的(de)效(xiao)果(guo)。
2、風(feng)系統風(feng)系統流(liu)程(cheng)圖
系統采(cai)用的(de)是(shi)全新風(feng)空(kong)調(tiao)箱(xiang)+FFU系統:
<1>全(quan)新風(feng)空(kong)調(tiao)箱(xiang)結(jie)構
<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(feng)機(ji)和過濾器(qi)
千(qian)級區過濾(lv)器(qi)采(cai)用HEPA,過濾(lv)效(xiao)率(lv)99.997%,百級區(qu)過濾器(qi)采(cai)用ULPA,過濾(lv)效(xiao)率(lv)99.9995%。
3、水系統水(shui)系統流(liu)程(cheng)圖
冰(bing)水系統分(fen)為(wei)壹次側(ce)和二次側(ce).
壹次側(ce)冰(bing)水水(shui)溫(wen)7-12度(du),供給空(kong)調(tiao)箱(xiang)和風(feng)機(ji)盤(pan)管,二次側(ce)冰(bing)水12-17度(du)供(gong)給(gei)幹盤(pan)管系統.壹(yi)次側(ce)冰(bing)水和二次冰(bing)水為(wei)兩(liang)個不(bu)同(tong)的(de)回路(lu),之(zhi)間由板(ban)式換熱(re)器(qi)連(lian)接.
板(ban)式換熱(re)器(qi)原理
幹盤(pan)管:不(bu)結(jie)露的(de)盤(pan)管,因凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)溫度在(zai)22度,其(qi)露點(dian)溫(wen)度(du)12度(du)左右(you),故7度(du)冰(bing)水不(bu)能直接進(jin)入(ru)凈化(hua)車(che)間(jian),所以進(jin)幹盤(pan)管的(de)冰(bing)水溫(wen)度(du)在(zai)12-14度.
4、控制系統(DDC)溫(wen)度(du):幹盤(pan)管系統控制
濕度:空(kong)調(tiao)箱(xiang)調(tiao)節(jie)通(tong)過感(gan)測的(de)信(xin)號(hao),控制三(san)通(tong)閥(fa)開(kai)度來(lai)調(tiao)節(jie)空(kong)調(tiao)箱(xiang)盤(pan)管進(jin)水(shui)量(liang)。
正(zheng)壓(ya):空(kong)調(tiao)箱(xiang)調(tiao)節(jie),根據(ju)靜壓感測(ce)的(de)信(xin)號(hao),自(zi)動調(tiao)節(jie)空(kong)調(tiao)箱(xiang)馬達變頻(pin)器(qi)的(de)頻(pin)率(lv),從(cong)而調(tiao)節(jie)進(jin)入(ru)室內(nei)的(de)新風(feng)量(liang)。
5、其(qi)他系統
不(bu)只(zhi)是(shi)空(kong)調(tiao)系統,凈(jing)化(hua)車(che)間(jian)系統中還包(bao)括(kuo)有(you)真(zhen)空(kong),空(kong)壓(ya),氮(dan)氣(qi),純(chun)水(shui),廢(fei)水(shui),二氧(yang)化(hua)碳(tan)系統,制(zhi)程(cheng)排氣(qi)系統。